近日，國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局新批準(zhǔn)了3項(xiàng)國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)——二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、二維硅納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、一維硅納米光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，均由同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院李同保院士、程鑫彬教授團(tuán)隊(duì)研制。

據(jù)介紹，這一研發(fā)成果主要應(yīng)用于先進(jìn)測(cè)試儀器的納米長(zhǎng)度與角度同步校準(zhǔn)，為新一代信息技術(shù)、新材料、生物制造、高端裝備等領(lǐng)域的納米制造提供精準(zhǔn)“標(biāo)尺”。其中，二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是我國(guó)首次建立的納米級(jí)角度國(guó)家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。

分步沉積原子光刻技術(shù)方案。

納米制造，測(cè)量先行。研制高精度的納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，是打造高準(zhǔn)確度納米測(cè)量傳遞鏈，提升國(guó)產(chǎn)納米制造產(chǎn)品質(zhì)量可靠性的關(guān)鍵。二維鉻納米柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)突破性地采用分步沉積原子光刻技術(shù)，制備難度較大，可直接溯源到自然界量子化物理常數(shù)（鉻原子躍遷頻率），角度絕對(duì)準(zhǔn)確性在0.001°量級(jí)，相當(dāng)于把一個(gè)蛋糕按扇形均分成三十六萬(wàn)份。

二維鉻納米柵格的結(jié)構(gòu)面積一般為300μm（微米）×300μm（微米），在沒(méi)有劃傷或破壞的狀況下，每次使用2μm×2μm，不重復(fù)使用測(cè)量區(qū)域次數(shù)可達(dá)20000次以上�？蓱�(yīng)用于晶圓級(jí)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測(cè)設(shè)備校準(zhǔn)；也可應(yīng)用于對(duì)超精密位移傳感器多種參數(shù)的光柵干涉法校準(zhǔn)。

上個(gè)月，同濟(jì)大學(xué)和德國(guó)聯(lián)邦物理技術(shù)研究院關(guān)于縮短溯源鏈的皮米精確度納米計(jì)量成果發(fā)表于測(cè)量領(lǐng)域國(guó)際著名期刊《測(cè)量科學(xué)與技術(shù)》（Measurement Science and Technology）。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)證書(shū)。

這次獲批的3項(xiàng)一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，正用于市場(chǎng)監(jiān)管總局組織的首批國(guó)產(chǎn)掃描電子顯微鏡計(jì)量測(cè)試評(píng)價(jià)工作。這一成果在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)了納米測(cè)量領(lǐng)域的扁平化計(jì)量，避免傳統(tǒng)逐級(jí)量值傳遞方式造成的誤差累積放大，能夠通過(guò)在線校準(zhǔn)將高精度計(jì)量數(shù)據(jù)直接傳遞到企業(yè)計(jì)量現(xiàn)場(chǎng)，為我國(guó)納米制造產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展提供有力支撐。